반도체 AMC 모니터링 시스템용 솔레노이드 밸브 신뢰성 테스트에 관한 연구
한국기계기술학회지 제25권 제5호 (2023.10) pp.935-940
반도체 AMC 모니터링용 샘플링 테스트 모듈에 관한 연구
한국기계기술학회지 제25권 제5호 (2023.10) pp.855-860
반도체 Wafer 공정용 불산 제어 밸브 모듈 개발에 관한 연구
한국기계기술학회지 제24권 제4호 (2022.08) pp.750-754
Programmable Power Supply 소자를 이용한 반도체검사용 장비 DC Parameter 측정에 관한 연구
한국기계기술학회지 제24권 제4호 (2022.08) pp.739-743
VCHP를 적용한 냉시동 가능 전력 반도체 냉각기의 작동특성에 관한 연구
한국기계기술학회지 제12권 제4호 (2010.12) pp.211-217
한국기계기술학회지 제9권 제2호 (2007.06) pp.9-14