반도체 AMC 모니터링 시스템용 솔레노이드 밸브 신뢰성 테스트에 관한 연구
권혁상
한국기계기술학회지 제25권 제5호 (2023.10) pp.935-940
반도체 AMC 모니터링용 샘플링 테스트 모듈에 관한 연구
한국기계기술학회지 제25권 제5호 (2023.10) pp.855-860