반도체 Wafer 공정용 불산 제어 밸브 모듈 개발에 관한 연구
김호건, 유승현, 오성훈, 소병문
한국기계기술학회지 제24권 제4호 (2022.08) pp.750-754
적외선 모듈을 이용한 디지털 제어 시스템
조명현, 이호영
한국기계기술학회지 제14권 제6호 (2012.12) pp.93-97