MEMS 기반 초소형 펌프 내에서의 유동해석
이동렬
한국기계기술학회지 제17권 제2호 (2015.04) pp.205-210
1자유도 MEMS 매니퓰레이터의 운동 해석에 관한 연구
안영명, 유재명
한국기계기술학회지 제11권 제4호 (2009.12) pp.65-72