반도체 제조공정의 연기유동에 관한 연구
한수진, 강경식
대한안전경영과학회지 제9권 제1호 (2007.02) pp.197-211
Adaptive DeadBand를 애용한 반도체공정 제어
김준석, 고효헌, 김성식
대한안전경영과학회지 제7권 제5호 (2005.12) pp.255-273