주사탐침현미경의 진동 규제치 결정 및 바닥 진동 특성 분석 Evaluation of the permissible floor vibration level for the scanning probe microscopes and analysis of the floor vibration properties
한국기계기술학회지
(韓國機械技術學會誌)
제11권 제1호
(2009.03)
pp.1-5
pp.1-5
한국기계기술학회
(Korean Society of Mechanical Technology)
초록
Atomic Force Microscopes(AFM) is used to scan surfaces of a sample by measuring the interaction between atoms on the sample and the extremely sharp probe tip, which is produced by micromachining. AFM can be used as an inspection equipment for microelectronics industry and also requires a vibration-free environment to provide its proper functions. However, all of machine foundations including the wafer fab floor show the great amount of floor vibrations which can cause bad effects on the AFMs. This paper deals with the permissible floor vibration level for AFM at a given resolution.
목차
Abstract
1. 서 론
2. 본 론
2.1 바닥 진동의 특성
2.2. 정상응답 및 과도 응답
2.3 진동 시험
2.4 실험 결과 : 정상 상태 바닥 진동 허용치
2.5 고찰 : 과도 진동 제진 대책 및 방법
3. 결 론
참 고 문 헌
1. 서 론
2. 본 론
2.1 바닥 진동의 특성
2.2. 정상응답 및 과도 응답
2.3 진동 시험
2.4 실험 결과 : 정상 상태 바닥 진동 허용치
2.5 고찰 : 과도 진동 제진 대책 및 방법
3. 결 론
참 고 문 헌
저자