에폭시 본딩을 이용한 자기변형 박막 작동기의 거동 Behavior of Magnetostrictive Thin Film Actuator using Epoxy Bonding
한국기계기술학회지
(韓國機械技術學會誌)
제15권 제6호
(2013.12)
pp.827-831
pp.827-831
한국기계기술학회
(Korean Society of Mechanical Technology)
초록
Magnetostrictive actuator is fabricated with epoxy bonding method instead of sputtering method in this study. Fabrication process and experimental measurement method for magneto-mechanical characteristics is proposed. For the design of highly flexible magnetostrictive actuator, TbDyFe epoxy bonding with SU-8 substrate is adopted. The fabrication process for SU-8 substrate and the epoxy bonding is suggested and magnetostrictive behavior is investigated. Variable magnetic field is applied to measure the various magnetostrictive characteristics and magnetostriction is measured with different waves and different magnitude of magnetic field.
키워드
목차
Abstract
1. 서론
2. 자기변형 작동기의 제작
2.1 자기변형 작동기 제작 배경
2.2 자기변형 작동기의 제작
3. 자기변형 작동기의 실험
3.1 박막 두께 및 자화 측정
3.2 자기변형 측정
4. 결론
References
1. 서론
2. 자기변형 작동기의 제작
2.1 자기변형 작동기 제작 배경
2.2 자기변형 작동기의 제작
3. 자기변형 작동기의 실험
3.1 박막 두께 및 자화 측정
3.2 자기변형 측정
4. 결론
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