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초기 플라즈마 방전에 미치는 RF 방전전압 변조의 영향 Effect of Amplitude Modulation on Initial RF Plasma Discharge

김연원, 이재웅
  • LanguageKOR
  • URLhttp://db.koreascholar.com/Article/Detail/330280
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해양환경안전학회 학술대회 논문집
2017년도 (사)해양환경안전학회 춘계학술발표회 논문집 (2017.04)
p.268
해양환경안전학회 (The Korean Society Of Marine Environment & Safety)
Keyword
Silcion clustersPECVDplasmaThin filmAmplitude modulation
Author
  • 김연원(목포해양대학교) | Yeonwon Kim First Author
  • 이재웅(목포해양대학교) | Jae-ung Lee Corresponding Author