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초기 실란 플라즈마 방전에서 발생한 나노 입자의 거동 분석 Analysis of the behavior of nanoparticles generated in early silane plasma discharge

김연원
  • LanguageENG
  • URLhttp://db.koreascholar.com/Article/Detail/354915
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해양환경안전학회 학술대회 논문집
2018년도 (사)해양환경안전학회 공동국제학술발표회 (2018.06)
p.201
해양환경안전학회 (The Korean Society Of Marine Environment & Safety)
Keyword
silicon clusterPECVDlaser scattering methodQCM실리콘 미립자PECVD레이저 산란 법QCM
Author
  • 김연원(목포해양대학교, Mokpo National Maritime University) | Yeonwon Kim