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실란 플라즈마 방전 중 발생입자 거동과 OES 특성비교 Comparison of Particle Behaviors with OES Characteristics during Silane Plasma Discharge

김연원
  • LanguageENG
  • URLhttp://db.koreascholar.com/Article/Detail/378855
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해양환경안전학회 학술대회 논문집
2019년도 (사)해양환경안전학회 공동학술대회 (2019.04)
p.114
해양환경안전학회 (The Korean Society Of Marine Environment & Safety)
Keyword
실리콘 클러스터수소희석비정질 실리콘 필름PECVDSilicon clusterHydrogen dilutionamorphous silicon filmPECVD
Author
  • 김연원(목포해양대학교) | Yeonwon Kim (Mokpo National Maritime University)