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Pd활성제와 열처리 온도에 의한 SnO2/Al2O3 가스센서에 미치는 감응효과 KCI 등재 SCOPUS
The effect of Pd activator and annealing temperatures on the response characteristecs of the SnO2/Al2O3gas sensor
한국재료학회지
(Korean Journal of Materials Research)
제4권 제3호 (1994.05)
pp.295-300
pp.295-300
한국재료학회
(Materials Research Society Of Korea)
초록
이 논문은 SnO2에 소량의 Pd를 첨가하여 이것을 Al2O3기판위에 진공증착시켜 가스소자를 제작한 후, 소자의 감지특성에 영향을 미치는 열처리 온도, 소자의 온도, Pd의 첨가량의 변화 효과를 조사한 것이다. 소자의 열처리 온도가 550˚C일때와 소자의 동작온도가 350˚C일때 ethanol gas에 접촉시 소자 저항이 가장 낮았다. Pd 1 wt%를 첨가한 경우 에탄올 가스에 대한 소자의 감지특성이 가장 양호하였으며, 저농도 영역에서 특히 우수하였다.
저자
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