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RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 SrTiO3박막제조와 유전특성 KCI 등재 SCOPUS

Preparation of SrTiO3 Thin Film by RF Magnetron Sputtering and Its Dielectric Properties

김병구, 손봉균, 최승철
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/294924
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제5권 제6호 (1995.09)
pp.754-762
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
저자
  • 최승철 | 최승철
  • 손봉균 | 손봉균
  • 김병구 | Kim, Byeong-Gu
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