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Micro Gas Sensor의 Membrane용 SiNx막과 SiNx/SiOx/SiNx막의 응력과 굴절율 KCI 등재 SCOPUS

Stress and Relective Index of SiNx and SiNx/SiOx/SiNx Films as Membranes of Micro Gas Sensor

이재석, 신성모, 박종완
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295132
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제7권 제2호 (1997.02)
pp.102-106
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
저자
  • 이재석 | Lee, Jae-Seok
  • 신성모 | 신성모
  • 박종완 | 박종완
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