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DC Magnetron Sputtering 법에 의해 ATO 박막 제조시 스퍼터전력 및 산소유량이 전기적 성질에 미치는 영향 KCI 등재 SCOPUS

Effects of Sputtering Power and Oxygen Flow Rate on the Electrical Properties of ATO Thin Films Made by DC Magnetron Sputtering

이환수, 이환수, 이혜용, 윤천
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295548
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제9권 제5호 (1999.05)
pp.533-537
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
저자
  • 이환수 | Lee, Hwan-Su
  • 이환수 | 이환수
  • 이혜용 | 이혜용
  • 윤천 | 윤천
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