논문 상세보기

PACVD 방법으로 TiN 코팅시 공정변수가 작은 동공 내부의 코팅층 형성에 미치는 영향 KCI 등재 SCOPUS

Effects of Process Parameters on Formation of TiN Coating Layer in Small Holes by PACVD

김덕재, 조영래, 백종문, 곽종구
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295853
구독 기관 인증 시 무료 이용이 가능합니다. 4,000원
한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제11권 제6호 (2001.06)
pp.441-447
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
TiNPACYDOESdiesholeplasma diagnosisduty ratio
저자
  • 김덕재 | Kim, Deok-Jae
  • 조영래 | 조영래
  • 백종문 | 백종문
  • 곽종구 | 곽종구
인용하기
양식 선택
언어 선택
로그인