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Multi-coating법으로 제조된 두꺼운 PZT막의 두께 변화에 따른 미세구조 및 전기적 특성 KCI 등재 SCOPUS

Microstructures and Electrical Properties of Thick PZT Films with Thickness Variation Fabricated by Multi-coating Method

박준식, 장연태, 박효덕, 최승철, 강성군
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/295988
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제12권 제3호 (2002.03)
pp.211-214
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
sol-gelPZTthick filmmulti-coatingMEMS devices
저자
  • 박준식 | Park, Jun-Sik
  • 장연태 | 장연태
  • 박효덕 | 박효덕
  • 최승철 | 최승철
  • 강성군 | 강성군
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