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승온중 수소 분위기 제어에 의한 선택적 Si 에피텍시 성장 KCI 등재 SCOPUS

Selective Si Epitaxial Growth by Control of Hydrogen Atmosphere During Heating-up

손용훈, 박성계, 김상훈, 남승의, 김형준
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296013
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제12권 제5호 (2002.05)
pp.363-368
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
Selective silicon epitaxy growthIncubation period
저자
  • 손용훈 | Son, Yong-Hun
  • 박성계 | 박성계
  • 김상훈 | 김상훈
  • 남승의 | 남승의
  • 김형준 | 김형준
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