복합 티타늄실리사이드 공정에서 발생한 공극 생성 연구 - koreascholar

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복합 티타늄실리사이드 공정에서 발생한 공극 생성 연구 KCI 등재 SCOPUS

Void Defects in Composite Titanium Disilicide Process

정성희, 송오성

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296097

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제12권 제11호 (2002.11)
pp.883-888

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

composite-titanium silicide amorphous polycrystalline sheet resistance voids

저자

정성희 | Cheong, Seong-Hwee
송오성 | 송오성

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