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질소 도핑된 P/P- Epitaxial Silicon Wafer의 Slip 및 강도 평가 KCI 등재 SCOPUS

Evaluation of Slip and Strength of Nitrogen doped P/P- Epitaxial Silicon Wafers

  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296460
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
저자
  • 최은석 | Choi, Eun-Suck
  • 배소익 | 배소익