ALD법으로 증착한 ZnO 박막의 열처리 분위기에 따른 구조적, 전기적 특성 비교

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Comparison of Nitrogen and Oxygen Annealing Effects on the Structural, Optical and Electrical Properties of ALD-ZnO Thin Films

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

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