SOI 기술의 이해와 고찰: 소자 특성 및 공정, 웨이퍼 제조

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Basic Issues in SOI Technology : Device Properties and Processes and Wafer Fabrication

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

SOI FIPOS wafer bonding BESOI SIMOX

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