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ZnO 성장을 위한 Atomic Layer Deposition법에서 공정온도가 박막의 구조적 및 광학적 특성에 미치는 영향 KCI 등재 SCOPUS

Effects of Substrate Temperature on the Microstructure and Photoluminescence Properties of ZnO Thin Films by Atomic Layer Deposition

임종민, 이종무
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296531
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제15권 제11호 (2005.11)
pp.741-744
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
ZnO thin filmsatomic layer depositionsubstrate temperature microstructurephotoluminescence
저자
  • 임종민 | Lim, Jong-Min
  • 이종무 | 이종무
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