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수열처리에 의한 세리아가 코팅된 실리카 연마재의 제조 및 Oxide Film의 연마특성 KCI 등재 SCOPUS

Preparation of Ceria Coated Silica Abrasive by Hydrothermal Treatment and Polishing Rate on Oxide Film

유대선, 김대성, 이승호
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296545
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제15권 제12호 (2005.12)
pp.818-823
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
키워드
ceria coated silicahydrothermal treatmentCMPabrasivenano-sized ceria
저자
  • 유대선 | Ryu, Dae Sun
  • 김대성 | 김대성
  • 이승호 | 이승호
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