Co2(CO)8 (Dicobalt Octacarbonyl) 전구체를 이용한 MOCVD Co 박막의 균일한 증착 특성 및 높은 순도에 관한 연구

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Highly Conformal Deposition of Pure Co Films by MOCVD Using Co2(CO)8 as a Precursor

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

MOCVD Co Co2 CO8 Conformality Pure Co

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