나노급 Ir 삽입 니켈실리사이드의 미세구조 분석 - koreascholar

논문 상세보기

나노급 Ir 삽입 니켈실리사이드의 미세구조 분석 KCI 등재 SCOPUS

Microstructure Characterization for Nano-thick Ir-inserted Nickel Silicides

송오성, 윤기정, 이태헌, 김문제

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/296715

구독 기관 인증 시 무료 이용이 가능합니다. 4,000원

한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제17권 제4호 (2007.04)
pp.207-214

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

키워드

NiSi Ir-inserted Nisilicide TEM Auger depth profiling

저자

송오성 | Song, Oh-Sung
윤기정 | 윤기정
이태헌 | 이태헌
김문제 | 김문제

같은 권호 다른 논문