본 연구에서는 연료, 공기, 냉매, 수증기가 3중관으로 동시에 공급되는 버너를 개발하였다. 냉매 및 수증기가 화염을 방해하지 않으면서 고온 영역에서의 체류시간을 최대한 길게 유지할 수 있는 위치에서 공급하면, 폐 HFCs와 같이 안정된 물질을 고온에서 빠르게 파괴하여 보조연료 소비를 최소화 할 수 있다. 또한 폐HFCs 파괴에 필요한 수증기를 정량 공급하기 위하여 수증기 공급장치를 설치하여 수증기를 버너 팁과 소각로 몸체에 직접 공급하였다. 본 연구에서는 폐HFCs 전용 소각을 위한 소각로에서 폐HFCs 및 수증기 공급위치와 방법을 변경하면서 파괴실험을 수행하였다. 다양한 변수로 실험하여 소각장치 내부 온도측정 및 배기가스 농도측정, 폐HFCs 분해실험을 수행하였다.