본 연구에서는 0.5, 1.0, 1.5 wt%의 TiO2를 함유하는 인듐-티타늄 수산화물을 졸 및 염기 첨가에 의해 얻었고, 200oC와 500oC에서 겔화 과정을 통해 ITiO(Indium Titanate Oxide)를 얻었다. 200oC에서 겔화 과정 후 얻어지는 ITiO 입자가 작아서 조밀성이 있는 ITiO 타겟을 제조하였다. 0.5, 1.0, 1.5 wt%의 TiO2를 함유하는 ITiO 타겟을 스퍼터링하여 ITiO 박막을 유리판위에 제작하여 비저항, 전하 이동도, 캐리어 농도를 조사하였다. 이들 박막 중에서 산소 조성이 0.4 %인 조건에서 0.5 wt% 중량% TiO2를 함유하는 ITiO 타겟으로부터 제작된 ITiO 박막이 가장 낮은 비저항, 가장 큰 전하이동도 및 가장 낮은 캐리어 농도를 보임을 알 수 있었고, 얻어진 ITiO 박막의 광투과율을 측정하여 적외선 영역에서 광투과율이 ITO(Indium Tin Oxide) 박막에 비해 현저히 증가함을 발견하였다.

In this study, Indium-Titanium hydroxide particle with 0.5, 1.0, 1.5 wt% of TiO2 were synthesized by sol process and adding the base, ITiO(Indium Titanium Oxide) particles were obtained by gelling at 200℃ and 500℃. The ITiO particle's size with gel process at 200℃ was smaller than ITiO particle's size with gel process 500℃. The ITiO particle with gel process at 200℃ was used to fabricate dense ITiO target. ITiO targets with 0.5, 1.0, 1.5 wt% of TiO2 were fabricated and used to obtain ITiO thin films onto glass by sputtering. Among those sputtered ITiOs' thin films, ITiO thin film with 0.4 % of O2 and 0.5 wt% of TiO2 showed the lowest specific resistance, highest charge mobility and lowest carrier concentration. It was found the light transmittance of the ITiO film were increased highly compared to light transmittance of ITO (Indium Tin Oxide) thin film over Infrared wavelength ranges

요 약
 Abstract
 1. 서 론
 2. 실 험
  2.1. 시약 및 장치
  2.2. 기기
  2.3. In2O3, TiO2 산화물의 단일 타겟을 이용한최적의 조성 결정
  2.4. 졸-겔법에 의한 ITiO 분말 합성
  2.4. 합성된 ITiO 분말을 이용한 ITiO 타겟 제조및 스퍼터링에 의한 ITiO 박막의 제조
 3. 결과 및 고찰
 4. 결 론
 References

• 고은주(한밭대학교 화학생명공학과, Department of Chemical & Biological Engineering, Hanbat National University) | Go Eun Ju
• 김상헌(한밭대학교 화학생명공학과, Department of Chemical & Biological Engineering, Hanbat National University) | Sang Hern Kim Corresponding author