[원저 (原著)] 저급 TEOS 계 산업 부산물을 재활용한 실리콘 웨이퍼용 연마제의 합성 및 특성 - koreascholar

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[원저 (原著)] 저급 TEOS 계 산업 부산물을 재활용한 실리콘 웨이퍼용 연마제의 합성 및 특성 KCI 등재

신진용, 박대용, 서신석, 김도수, 노재성

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/16251

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한국폐기물자원순환학회지 (Journal of Korea Society of Waste Management)

제14권 제7호 (1997.11)
pp.691-700

한국폐기물자원순환학회 (Korea Society Of Waste Management)

저자

신진용 | Jin Yong Shin
박대용 | Dae Young Park
서신석 | Shin Seok So
김도수 | Do Su Kim
노재성 | Jae Seong Rho

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