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NF3 플라즈마를 이용한 인코넬 모재 위 코발트 산화막의 식각반응 연구

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한국방사성폐기물학회 학술논문요약집 (Abstracts of Proceedings of the Korean Radioactive Wasts Society)
한국방사성폐기물학회 (Korean Radioactive Waste Society)
저자
  • 김경민(한양대학교)
  • 채산(한양대학교)
  • 전상환(한양대학교)
  • 김용수(한양대학교)