NF3 플라즈마를 이용한 인코넬 모재 위 코발트 산화막의 식각반응 연구 - koreascholar

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NF3 플라즈마를 이용한 인코넬 모재 위 코발트 산화막의 식각반응 연구

김경민, 채산, 전상환, 김용수

언어KOR
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한국방사성폐기물학회 학술논문요약집 (Abstracts of Proceedings of the Korean Radioactive Wasts Society)

Vol.9 No.1 (2011.05)
pp.283-284

한국방사성폐기물학회 (Korean Radioactive Waste Society)

저자

김경민(한양대학교)
채산(한양대학교)
전상환(한양대학교)
김용수(한양대학교)

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