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NF3 플라즈마를 이용한 인코넬 모재 위 코발트 산화막의 식각반응 연구
김경민
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채산
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전상환
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김용수
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KOR
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한국방사성폐기물학회 학술논문요약집
(Abstracts of Proceedings of the Korean Radioactive Wasts Society)
Vol.9 No.1 (2011.05)
pp.283-284
한국방사성폐기물학회
(Korean Radioactive Waste Society)
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저자
김경민(한양대학교)
채산(한양대학교)
전상환(한양대학교)
김용수(한양대학교)
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