금속방사성폐기물 제염공정 개발을 위한 NF3 플라즈마의 코발트 산화막 식각 반응 - koreascholar

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금속방사성폐기물 제염공정 개발을 위한 NF3 플라즈마의 코발트 산화막 식각 반응

김경민, 채산, 김용수, 전상환

언어KOR
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한국방사성폐기물학회 학술논문요약집 (Abstracts of Proceedings of the Korean Radioactive Wasts Society)

Vol.10 No.1 (2012.05)
pp.267-268

한국방사성폐기물학회 (Korean Radioactive Waste Society)

목차

1. 서론 2. 실험 3. 결과 및 토의 4. 결론 5. 참고문헌

저자

김경민(한양대학교)
채산(한양대학교)
김용수(한양대학교)
전상환((주)에이치앤에너테크)

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