화합물 반도체 공장의 통합생산시스템 설계에 관한 연구

이승우; 박지훈; 이화기

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화합물 반도체 공장의 통합생산시스템 설계에 관한 연구 KCI 등재

A Design of Integrated Manufacturing System for Compound Semiconductor Fabrication

이승우, 박지훈, 이화기

언어KOR
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한국산업경영시스템학회지 (Journal of Society of Korea Industrial and Systems Engineering)

Vol. 26 No. 3 (2003.09)
pp.67-73

한국산업경영시스템학회 (Society of Korea Industrial and Systems Engineering)

초록

Manufacturing technologies of compound semiconductor are similar to the process of memory device, but management technology of manufacturing process for compound semiconductor is not enough developed. Semiconductor manufacturing environment also has been

저자

이승우 | Seung-Woo Lee
박지훈 | Ji-Hoon Park
이화기 | Hwa-Ki Lee

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