Markov Chain Monte Carlo를 이용한 반도체 결함 클러스터링 파라미터의 추정

하정훈; 장준현; 김준현

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Markov Chain Monte Carlo를 이용한 반도체 결함 클러스터링 파라미터의 추정 KCI 등재

Estimation of Defect Clustering Parameter Using Markov Chain Monte Carlo

하정훈, 장준현, 김준현

언어KOR
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한국산업경영시스템학회지 (Journal of Society of Korea Industrial and Systems Engineering)

Vol. 32 No. 3 (2009.09)
pp.99-109

한국산업경영시스템학회 (Society of Korea Industrial and Systems Engineering)

초록

Negative binomial yield model for semiconductor manufacturing consists of two parameters which are the average number of defects per die and the clustering parameter. Estimating the clustering parameter is quite complex because the parameter has not clear

키워드

Yield Model Clustering Effect Parameter Estimation Markov Chain Monte Carlo Bayesian Estimation

저자

하정훈 | Chunghun Ha
장준현 | Jun Hyun Chang
김준현 | Joon Hyun Kim

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