차세대 웨이퍼 생산시스템에서의 실시간 스케줄링 시스템 아키텍처

이현; 허선; 박유진; 이건우; 조용주

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차세대 웨이퍼 생산시스템에서의 실시간 스케줄링 시스템 아키텍처 KCI 등재

A Real-Time Scheduling System Architecture in Next Generation Wafer Production System

이현, 허선, 박유진, 이건우, 조용주

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/22719

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한국산업경영시스템학회지 (Journal of Society of Korea Industrial and Systems Engineering)

Vol. 33 No. 3 (2010.09)
pp.184-191

한국산업경영시스템학회 (Society of Korea Industrial and Systems Engineering)

초록

In the environment of 450mm wafers production known as the next-generation semiconductor production process, one of the most significant features is the full automation over the whole manufacturing processes involved. The full automation system for 450mm

키워드

Semiconductor 450mm Wafer Production Real-time Scheduling Manufacturing Execution System

저자

이현 | Hyun Lee
허선 | Sun Hur
박유진 | You-Jin Park
이건우 | Gunwoo Lee
조용주 | YongJu Cho

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