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과불화질소, 육불화황, 삼불화질소와 같은 불소를 포함한 불화가스는 이산화탄소 온실가스에 비교해 배출량은 적지만 지구온난화지수가 매우 높아 지구온난화에 미치는 영향이 크다. 이러한 불화가스의 주요배출원이 국가 중추산업인 반도 체/LCD 산업이나 중전기 산업 등에 집중되어 있어 더욱 심각하다. 따라서 본 논문에서는 불화가스 저감 기술 중 분리막 기반 불화가스 회수 분리 공정을 중심으로 불화가스 저감 기술 개발 현황을 살펴보고자 하였다.
F-gases, gases containing fluorine such as perfluorocarbons (PFCs), sulfurhexafluoride (SF6), nitrogen trifluoride (NF3) are known to have green house effects. Although the net emission rates of gases containing fluorine are much lower than those of CO2, their contribution to global warming cannot be ignored because of their extremely high global warming potential (GWP). F-gases mainly have been used for a variaty of applications in the semiconductor/LCD processes and in the electric power distribution industry of the national key industry. One of practical solutions of controlling the emission rates of F-gases is to reuse by separation and recovery of F-gases of low concentration from the gases mixtures with nitrogen or air. This work investigates some methods for F-gases recovery and separation around the membrane-based process.
