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실리콘 웨이퍼에 Polystyrene 유도체 박막의 UV-Crosslinking 접착에 관한 연구
UV -Crosslinked Attachment of Polys핸rene Derivative Thin Film on Si Wafer
박영환
,
김지영
,
임권택
,
정연태
언어
KOR
URL
https://db.koreascholar.com/Article/Detail/281838
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한국화상학회지
(Journal of Korean Society for Imaging Science and Technology)
제13권 제1호 (2007.03)
pp.7-13
한국화상학회
(Korean Society for Imaging Science and Technology)
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키워드
Crosslinking
Thin Film
Polystyrene,Spin coating
UV irradiation
목차
Abstract
요 약
1 . 서 론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결 론
참고문헌
저자
박영환(부경대학교 화상정보공학부) | Young-Hwan Park
김지영(부경대학교 화상정보공학부) | Ji-Young Kim
임권택(부경대학교 화상정보공학부) | Kwon-Taek Lim
정연태(부경대학교 화상정보공학부) | Yeon-Tae Jeong
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