고집적 반도체 미세가공용 포토레지스트 재료

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한국화상학회지 (Journal of Korean Society for Imaging Science and Technology)

한국화상학회 (Korean Society for Imaging Science and Technology)

1. 서론
2. 포토레지스트의 기본원리
3. 가교형 네가티브 포토레지스트
4. 포지티브 포토레지스트
5. 화학증폭형 포토레지스트
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인용문헌

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