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Characterization of tantalum silicide films formed by composite sputtering and rapid thermal annealing KCI 등재 SCOPUS

Cho, Hyun-Choon, Paek, Su-Hyon, Choi, Jin-Seok, Mah, Jae-Pyung, Ko, Chul-Gi, Kim, Dong-Won
  • 언어ENG
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/294577
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제2권 제1호 (1992.02)
pp.27-34
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
저자
  • Cho, Hyun-Choon | 조현준
  • Paek, Su-Hyon | 백수현
  • Choi, Jin-Seok | 최진석
  • Mah, Jae-Pyung | 마재평
  • Ko, Chul-Gi | 고철기
  • Kim, Dong-Won | 김동원
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