대향타겟트 스파터기에서 반응성 플라즈마의 스펙트로스코프 검진

나종갑; 이택동; 박순자

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대향타겟트 스파터기에서 반응성 플라즈마의 스펙트로스코프 검진 KCI 등재 SCOPUS

Spetroscopic Diagnostics of Reactive Plasma in a Facing Target Sputtering Unit

나종갑, 이택동, 박순자

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/294617

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제2권 제5호 (1992.10)
pp.337-342

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

초록

대향타겟트형 스파터기에서 BaO-l2Fe 복합타겟트를 사용하고 50% O2+Ar 스파터가스를 사용한 반응성 프라즈마를 스펙트로스포프법으로 검진하였다. 프라즈마의 스펙트럼은 Ba, Ba+, Fe, FeO, Fe+, Ar, Ar+, O, O+의 피크로 이루어져 있었으며 타겟트로 부터 멀어짐에 따라 이온의 상대강도는 중성원소의 그것에 비하여 더 감소하였다.

저자

나종갑 | Na, Jong-Gab
이택동 | 이택동
박순자 | 박순자

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