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Composite target으로 증착된 Mo-silicide의 형성 및 불순물의 거동 KCI 등재 SCOPUS

Behavior of Implanted Dopants and Formation of Molybdenum Siliclde by Composite Sputtering

조현춘, 백수현, 최진석, 황유상, 김호석, 김동원, 심태언, 정재경, 이종길
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/294622
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제2권 제5호 (1992.10)
pp.375-382
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
저자
  • 조현춘 | Cho, Hyun-Choon
  • 백수현 | 백수현
  • 최진석 | 최진석
  • 황유상 | 황유상
  • 김호석 | 김호석
  • 김동원 | 김동원
  • 심태언 | 심태언
  • 정재경 | 정재경
  • 이종길 | 이종길
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