저온공정에 의한 자기이온주입된 비정질 실리콘 박막의 재결정화 - koreascholar

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저온공정에 의한 자기이온주입된 비정질 실리콘 박막의 재결정화 KCI 등재 SCOPUS

Low Temperature Recrystallization of Self-Implanted Amorphous Silicon Films

이만형, 최덕균, 김정태

언어KOR
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제2권 제6호 (1992.12)
pp.417-427

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

저자

이만형 | Lee, Man-Hyeong
최덕균 | 최덕균
김정태 | 김정태

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