TiSi2 박막의 열안정성에 미치는 막 스트레스의 영향 - koreascholar

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TiSi2 박막의 열안정성에 미치는 막 스트레스의 영향 KCI 등재 SCOPUS

The Effect of Stress on the Thermal Stability of the TiSi2 Film

김영욱, 김영욱, 고종우, 이내인, 김일권, 박순오, 안성태, 이문용, 이종길

언어KOR
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제3권 제1호 (1993.02)
pp.12-18

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

저자

김영욱 | Kim, Yeong-Uk
김영욱 | 김영욱
고종우 | 고종우
이내인 | 이내인
김일권 | 김일권
박순오 | 박순오
안성태 | 안성태
이문용 | 이문용
이종길 | 이종길

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