직접 접합된 Si-Si, Si-SiO2/Si기판쌍의 접합 계면에 관한 연구

주병권; 방준호; 이윤희; 차균현; 오명환

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직접 접합된 Si-Si, Si-SiO2/Si기판쌍의 접합 계면에 관한 연구 KCI 등재 SCOPUS

Study on the Bonding Interface in Directly Bonded Si-Si and Si-SiO2 Si Wafer Pairs

주병권, 방준호, 이윤희, 차균현, 오명환

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/294733

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제4권 제2호 (1994.04)
pp.127-135

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

초록

직접 접합된 Si 기판들의 접합계면에 관하여 연구하였다. 경사 연마 및 결함묘사, 계면의 비등방성 식각, TEM 및 HR-TEM 등의 방법들을 이용하여 접합계면에 발생하는 계면결함과 과도영역, 여러형태의 void 들, 계면 산화막의 형성 및 안정화 과정등을 조사하였다. 또한 접합된 Si-Sio2계면과 일반적인 Si-Sio2계면의 형상등을 비교 검토하였다.

저자

주병권 | Ju, Byeong-Gwon
방준호 | 방준호
이윤희 | 이윤희
차균현 | 차균현
오명환 | 오명환

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