플라즈마 화학증법에 의해 형성된 Diamondlike Carbon 박막의 광학적 특성에 미치는 수소가스의 영향

김한도; 주승기

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플라즈마 화학증법에 의해 형성된 Diamondlike Carbon 박막의 광학적 특성에 미치는 수소가스의 영향 KCI 등재 SCOPUS

Effects of Hydrogen Gas on the Optical Properties of Diamondlike Carbon Thin Films Prepared by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

김한도, 주승기

언어KOR
URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/294736

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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제4권 제2호 (1994.04)
pp.152-158

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

초록

메탄가스를 반응가스로 하여 플라즈마 화학증착법으로 Diamondlike Carbon(DLC)박막 제작시 박막의 광학적 특성에 미치는 수소가스의 영향을 조사하였다. 수소가스를 보조가스로 사용하는 경우는 불활성가스인 아르곤이나 헬륭의 경우와는 달리 인가전력의 변화에 따라 수소가스의 역할이 다르게 나타났다. Optical band gap의 변화와 FT-IR 분석결과로부터 수소가스에 의한 C-H 결합의 화학적인 에칭과 스퍼터링 및 수소의 박막 내로의 주입 가능성을 예측하고 이를 아르곤과 헬륨을 보조가스로 사용한 경우와 비교하여 그 타당성을 확인하였다.

저자

김한도 | Kim, Han-Do
주승기 | 주승기

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