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저주파수(450 KHz) PECVD에 의한 Diamondlike Carbon박막의 특성 KCI 등재 SCOPUS
Characteristics of Diamondike Carbon thin Films by Low Discharging Frequency(450KHz) PECVD
김한주, 주승기
- 언어KOR
- URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/294745
4,000원
한국재료학회지
(Korean Journal of Materials Research)
제4권 제2호 (1994.04)
pp.227-232
pp.227-232
한국재료학회
(Materials Research Society Of Korea)
초록
450KHz 저주파수로 플라즈마 화학증착법을 이용하여 Diamondlike carbon박막을 제작하고 optical band gap, 미소경도, 내부응력 등의 물성에 대하여 13.56MHz의 전원을 사용했을 때보다 optical band gap이 감소하였으며 FT-IR및 CHN분석결과 박막 내의 C-H결합농도와 총 수소의 함량이 크게 감소하는 것으로 밝혀졌다. 또한 저주파수로 DLC 박막을 형성하는 경우 미소경도의 희생없이 내부응력을 크게 줄일 수 있어 기판과의 접착성이 향상될 것으로 기대되었다.
저자
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