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Laser Ablation에 의한 (Ba0.5, Sr0.5) Tio3박막의 제조와 전극에 따른 전기적 특성 KCI 등재 SCOPUS
Prepatation of(Ba0.5, Sr0.5) Tio3thin folms by Laser Ablation technique and their electrical properties with different electrodes
한국재료학회지
(Korean Journal of Materials Research)
제4권 제4호 (1994.06)
pp.401-405
pp.401-405
한국재료학회
(Materials Research Society Of Korea)
초록
Laser ablation기술에 의해 Pt와 YBacu3O7-x(YBCO)전극위에 epitaxially성장된 BST박막의 조성과 전기적 특성이 연구되었다. RBS분석으로부터 Pt전극 위에 증착된 BST박막의 결정성이 YBCO전극 위에 증착된 것보다도 더 우수하였다. 600˚C에서 Pt 전극위에 증착된 BST박막은 100kHz의 주파수에서 유전상수가 320, 유전손실이 0.023이었다. Pt전극위에 증착된 BST박막의 누설전류 밀도가 TBCO전극위에 증착된 것 보다도 더 작았다. 0.15MV/cm의 전기장 하에서 누설전류밀도는 약 0.8 μ A/ cm2이었다.
저자
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