급속열처리시 Ta-silicide박막 형성에 미치는 불순물 인의 영향 - koreascholar

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급속열처리시 Ta-silicide박막 형성에 미치는 불순물 인의 영향 KCI 등재 SCOPUS

The effect of Phosphorus on the Formaion of Ta-silicide film by RTA)

김동준, 강대술, 강성군, 김헌도, 박형호, 박종완

언어KOR
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

제4권 제8호 (1994.12)
pp.855-860

한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)

저자

김동준 | Kim, Dong-Jun
강대술 | 강대술
강성군 | 강성군
김헌도 | 김헌도
박형호 | 박형호
박종완 | 박종완

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