RF & DC magnetron sputtering장치를 이용하여 Ar과 Ar+N2혼합가스분위기에서 Fe/Co및 Fe-N/Co-N다층막을 각각 제조하였다. 제작된 다층막을 100˚C ~ 500˚C로 각각 1시간씩 열처리하였다. Fe막의 두께와 열처리 온도에 따른 Fe/Co다층막의 포화자화와 보자력을 측정하고, 투자율을 조사하였다. Fe/Co(70Å/15Å)다층막에서 포화자화는 1.8Oe이다. 보자력은 열처리 온도 250˚C까지는 일정한 값(1.8Oe)을 가지나. 250˚C ~ 300˚C에서는 약간 증가하고, 300˚C이상에서는 갑자기 증가한다. 질소 유량비(N2/Ar+N2)가 4%인 조건에서 제작한 Fe-N/Co-N 다층박막의 보자력은 5Oe이고, 열처리 온도가 증가함에 따라 감소하다가 250˚C에서 최소값, 2Oe를 나타내고 그 이상의 온도에서 급격히 증가한다.

• 김택수 | Kim, Taek-Su
• 임영언 | 임영언
• 김종오 | 김종오