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Transfer Matrix를 사용하여 예측한 TiO2/Ag/TiO2 박막의 광학적 성질 및 스퍼터 증착된 박막과의 특성 비교 KCI 등재 SCOPUS
Prediction of the optical properties of TiO2/Ag/TiO2 films using transfer matrix and comparisions with real transmittance measured on the sputter-deposited films
한국재료학회지
(Korean Journal of Materials Research)
제5권 제1호 (1995.02)
pp.140-148
pp.140-148
한국재료학회
(Materials Research Society Of Korea)
초록
Transfer matrix를 사용하여 TiO2 및 Ag 단일 박막과 TiO2/Ag/TiO2 다층 박막의 두계에 따른 투과도 특성을 예측하였으며, 이를 실제 스퍼터 증착하여 제조한 박막의 광학 특성과 비교하였다. TiO2 및 Ag 박막에서는 복소굴절률을 사용하므로써 실제 증착박막에서 측정된 특성과 근접한 투과도 곡선의 예측이 가능하였다. TiO2/Ag/TiO2 3층 박막의 광학 특성은 Ag의 TiO2층으로의 확산 및 응집에 의해 transfer matrix로 예측한 투과도 특성과 전혀 다른 거동을 나타내었다. 그러나 4nm 및 6nm 두계의 Ti 박막을 확산방지층으로 증착한 TiO2/Ti/Ag/Ti/TiO2 구조의 5층 박막에서는 transfer matrix를 사용하여 예측한 TiO2/Ag/TiO2 3층 박막의 투과도 곡선과 유사한 광학 특성을 얻을 수 있었다.
저자
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