MgTiO3에 CaTiO3, MgO, CaO를 첨가하여 고주파 유전특성을 조사하였다. 온도계수가 zeo ppm/˚C에 접근하는 (Mg0.915Ca0.085)TiO3 조성에서 유전상수값은 22, Qxf 값은 50000, MgO를 0.1mol 첨가한 조성에서는 유전상수는 17, Qxf값은 131000, CaO를 8mol% 첨가한 조성에서 유전상수는 20, Qxf 값은 52000을 나타내엇다. MgTiO3에 CaTiO3를 단독으로 첨가하는 경우보다 MgO와 CaO를 동시에 첨가할 때 보다 높은 Q값을 갖는 MgTiO3계 세라믹스를 제조할 수 있었다.