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RTA 후속 열처리에 의한 Ta2O5-Si 계면 반응과 전기적 특성 변화 KCI 등재 SCOPUS

Variations in electrical properties and interface reactions of Ta2O5-Si by RTA post annealing

전석룡, 이정엽, 한성욱, 박종완
  • 언어KOR
  • URLhttps://db.koreascholar.com/Article/Detail/294875
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한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
제5권 제3호 (1995.05)
pp.357-363
한국재료학회 (Materials Research Society Of Korea)
저자
  • 전석룡 | Jeon, Seok-Ryong
  • 이정엽 | 이정엽
  • 한성욱 | 한성욱
  • 박종완 | 박종완
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